蠕动泵在芯片镀膜、显影和蚀刻中的应用
2023-08-29 09:38:21
芯片生产是一个非常复杂的点砂成金的过程——从砂子到晶圆再到芯片。Yir实验室蠕动泵-微量注射泵-气动防爆泵-柱塞泵-保定实验室精密泵专营
晶片先从砂石里层层提炼出来，中间涉及有拉晶、切割的工艺。然后在做好的晶圆上制作电路及电子元件，这也是是芯片制造中最关键的环节，主要包含镀膜、光刻、显影、刻蚀、离子注入等工艺，再经过百道复杂的工艺和几个月的加工，才能在在指甲盖大小的空间中集成数公里长的导线和数以亿计的晶体管器件。而封装与测试业务属于集成电路产业链的后端行业。Yir实验室蠕动泵-微量注射泵-气动防爆泵-柱塞泵-保定实验室精密泵专营
蠕动泵针对芯片制造中的关键工艺环节- 芯片镀膜、显影和蚀刻，可提供精密的产品组合，输送重要的工艺化学品。Yir实验室蠕动泵-微量注射泵-气动防爆泵-柱塞泵-保定实验室精密泵专营
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应用价值Yir实验室蠕动泵-微量注射泵-气动防爆泵-柱塞泵-保定实验室精密泵专营
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· 泵送介质：酸性试剂或者碱性试剂Yir实验室蠕动泵-微量注射泵-气动防爆泵-柱塞泵-保定实验室精密泵专营
· 流量：几十毫升/分钟Yir实验室蠕动泵-微量注射泵-气动防爆泵-柱塞泵-保定实验室精密泵专营
· 流量精度：±2%Yir实验室蠕动泵-微量注射泵-气动防爆泵-柱塞泵-保定实验室精密泵专营
· 泵送液量范围：几十毫升至几百毫升(与镀膜厚度有关)Yir实验室蠕动泵-微量注射泵-气动防爆泵-柱塞泵-保定实验室精密泵专营
· 镀膜均匀性好，膜层致密Yir实验室蠕动泵-微量注射泵-气动防爆泵-柱塞泵-保定实验室精密泵专营
· 工艺流程：蠕动泵泵送酸碱溶液，用于调节酸碱平衡度，然后将调节后的试剂泵送至喷头，试剂被雾化后均匀喷洒至芯片表面进行镀膜，镀膜的厚度决定喷出的液量Yir实验室蠕动泵-微量注射泵-气动防爆泵-柱塞泵-保定实验室精密泵专营
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